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电子级氯化氢

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电子级氯化氢5.0N

相关介绍:

氯化氢气体为强刺激性,不燃气体,溶水后有强烈腐蚀性。产品包装于高压专用钢瓶中,处于液态。专用钢瓶为钢质无缝气瓶,瓶内抛光处理。瓶阀为抗腐蚀不锈钢隔膜阀。钢瓶设计压力为12.5Mpa,工作压力约5-6Mpa。
氯化氢产品的生产工艺为本公司专利技术,具有自主知识产权,填补了国内高纯氯化氢产品生产空白。氯化氢产品参SEMIC3.35-1101HCl标准,并执行国家标准GB/T24469-2009(电子级)和企业标准Q/ZWDL001-2006(化学级)。氯化氢产品采用HCl专用钢瓶包装,钢瓶符合国标GB5099-1994或DOT3AA标准,瓶阀为316L不锈钢隔膜式阀,接口为CGA330。本公司提供氯化氢专用配套设施、设备、阀门、减压器,并提供优质技术服务和售后服务。

电子级(VLSI)氯化氢5.0N

说明

用途

安全标示

装于钢瓶中的液化气体,

遇水强腐蚀性,

强刺激味,

吸入毒性,

20下钢瓶压力4.2MPa

保质期:2

大规模集成电路生产中,单晶硅片气相抛光,外延基座腐蚀

国家危险性级别:2.2

UN No.1050

CN No.22022

CAS No.7647-01-0

安全警示:腐蚀性

职业接触限值:

MACmg/ m3):15 mg/ m3

安全技术说明书:030501A

等级:VLSI 纯度:≥99.999% 检测方式:逐瓶检测

成分

标准值

实际产品

检测仪器

检测限

最小值

平均值

最大值

杂质

1x10-6V/V

2.00

0.20

0.30

0.40

DID色谱仪

0.001

+

1.00

0.05

0.05

0.05

DID色谱仪

0.001

甲烷+乙炔

1.00

0.10

0.30

0.60

DID色谱仪

0.001

一氧化碳

2.00

0.10

0.10

0.10

DID色谱仪

0.002

二氧化碳

2.00

0.20

0.70

1.00

DID色谱仪

0.002

1.00

0.30

0.30

0.40

精密光电露点仪

0.1

金属离子

1x10-6(W/W)

0.50

0.10

0.20

0.30

等离子体发射光谱

0.01

0.10

0.05

0.05

0.05

等离子体发射光谱

0.01

0.10

0.05

0.05

0.05

等离子体发射光谱

0.01

0.10

0.05

0.05

0.05

等离子体发射光谱

0.01

0.10

0.05

0.05

0.05

等离子体发射光谱

0.01

0.10

0.05

0.05

0.05

等离子体发射光谱

0.01

露点/

-76

-84

-83

-83

精密光电露点仪

-84


发表日期:2015-12-29  浏览次数:
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